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脈沖磁控濺射電源

產品名稱:脈沖磁控濺射電源

產品類別:按行業應用分類

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產品詳情
主要性能
大功率脈沖磁控濺射電源以快速開關控制正負電極放電,避免從傳統磁控濺射之異常輝光放電區進入電弧放電區,電流密度可達1019 /m,比傳統磁控濺射高三個量級,離化率更高達70%-100% ,可輕易沉積各種高級膜,附著力強。幾乎不用改變原來磁控濺射鍍膜設備,可直接更換電源即可。

主要特點
DSP全數字控制,自動化程度高
具有過流、過壓、超溫保護
全逆變設計,大功率IGBT功率模塊為主要器件,脈沖輸出有較強的沖擊力,單脈沖功率可達MW級

主要參數
1、       輸入電壓:380V±5%,50HZ,三相交流;
2、       輸出電壓:100V-4000V,脈沖電壓;
3、       輸出電流:100A-2000A,脈沖電流;
4、       輸出脈寬:5-2500us,可設定;
5、       頻率:30Hz-50kHz,可選擇范圍;
6、       輸出功率:10KW  20KW  30KW  40KW  50KW

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